成功实现国产化,黎明化工开发出高纯含氟电子

 新闻资讯     |      2020-06-24 01:13

集微网消息,据中化新网报道,6月11日,黎明化工研究设计院有限责任公司(简称“黎明化工”)首席技术官牛学坤表示,黎明化工承担的国家科技重大专项‘极大规模集成电路制造装备与成套工艺’中的‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目,通过了国家重大专项项目组的现场测试与评审,相关产品已提交客户使用。

此外,国家重大专项项目组专项办公室责任专家马振宇教授对此表示,项目的验收完成,标志着黎明院开发的高纯度含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫产品,能够满足极大规模集成电路行业所需的高纯度气体需求,也标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。

据了解,黎明化工借助国家科技重大专项平台,制备出5.8N四氟化碳和5.5N六氟化硫,部分杂质含量在0.1ppm以内。在研发过程中,黎明院共申报专利9项,发表研究论文6篇,编制国标1项、企标2项,并建成了标准化洁净间。

黎明化工官网消息显示,黎明化工研究设计院有限责任公司前身为黎明化工研究院,是原化学工业部综合性研究院,始建于1965年,主要从事化工新材料和化学推进剂及其原材料的研究开发。2014年,黎明化工与韩国大成签约,合资成立洛阳黎明大成氟化工有限公司,投资2.74亿元建设年产1000吨三氟化氮项目。(校对/小如)